CIC OLED DEVELOPMENT ROOM

長州産業では有機ELを初めとして、広範囲で装置化の研究開発を行っています。
各種実験装置、測定機器等を取り揃えており、お客様の新規材料、新規プロセス、OLED開発のサポートを致します。

研究開発用社内装置

有機EL蒸着装置
基板サイズ 370×470 に対応
マルチチャンバー方式
多機能蒸着スパッタ装置
基板サイズ 口100対応
成膜から封止まで、有機EL素子の作製を真空一貫にて製作できます。
ミラートロンスパッタ(MTSP)実験装置
有機ELの封止、樹脂への成膜に最適です。
低温で成膜可能なスパッタ装置です。
RtoR実験装置
ロールtoロール方式により樹脂フィルム上に有機EL素子を作りこむ装置です。蒸着室、スパッタ室を備え素子の一貫生産が可能な構成となっています。



ご利用について

成膜デモンストレーションの対応も可能です。
 1)蒸着成膜(有機・無機)
 2)MTSP成膜
詳細は、お問い合わせ下さい。