装置一覧

長州産業独自の技術を搭載する対向ターゲット方式「ミラートロンスパッタ装置」を提供しています。低プラズマダメージ、低基板温度を実現しながら、ご希望の機能性膜が得られます。有機EL分野では、トップエミッション構造における透明導電膜の形成、封止膜の形成に最適です。
有機太陽電池や有機半導体などの有機デバイス、電子部品、樹脂フィルム等の様々な分野において、最適なプロセスを提供しています。その他、平行平板方式、円筒方式のスパッタ装置も提供しています。

半導体関連をはじめ、FPD、電子部品、医療、食品など、製造業の幅広い分野に対応したFA機器を展開しています。
生産現場の生産性向上、自動化、省人化、品質向上、歩留まり向上、安全性向上、環境対策といったニーズを的確に捕らえ、お客様の利益を生み出すFA機器を提供します。

長年の実績や経験に基づく高い技術力により、お客様のご要望にお応えしたモノづくりを行っています。
長州産業のODM/OEM事業を活用することにより、コスト削減、生産能力増強、自社ブランド品の販売、オリジナル品/カスタマイズ品の構築などが可能となります。

ｋセルの温度制御やレート制御を行うユニットです。このユニット単独、或いは外部通信により（RS485 、I/O）、容易に蒸着制御を行うことが出来ます。
※蒸着源、加熱用電源、膜厚計コントローラーは別売となります。

特徴

・独自のフィードバック制御により、レート安定性に優れています。
・低温の有機材料から高温の無機材料まで対応可能です。
・低レート蒸着も対応可能です。

12枚の水晶振動子が取り付け可能な蒸着モニターユニットです。
※コントローラーは別売となります。

特徴

・高い信頼性により長時間運用が可能です。
・カバーとクリスタルホルダーは工具レスで脱着でき、メンテナンス性に優れています。

洗浄再生技術を活かして貴金属リサイクルでも貢献します。
真空装置部品に付着した貴金属はもちろん、各種スクラップからも回収・精製し、ご希望にあわせたご返却が可能です。

提携専業企業の高い抽出技術と正確な分析評価に長州産業の洗浄再生技術を融合させ、お客様に満足と安心、そして信頼をお届けします。
ここでも長州産業のフルサポート体制がお客様の資源活用やコスト低減に貢献します。