| サーモボールバルブドセル / 特徴 / 仕様 |
ThermoballTM Valved Cell 有機材料蒸着用バルブドセル
仕様
| フィラメント形状 | 6ゾーンヒータ；それぞれの独立制御が可能 |
|---|---|
| フィラメント構成 | Taワイヤー、PBNサポート |
| 熱電対 | Kタイプ（クロメル／アルメル）× 6 |
| 使用温度 | 標準使用条件 お問い合わせください。 最高使用温度 お問い合わせください。 脱ガス温度 お問い合わせください。 |
| 温度安定度 | ±0.1℃ |
| マウントフランジ | 152ICF以上 |
| 寸法 | お問い合わせください。 |
| 真空内長 | お問い合わせください。 |
| 電源 | ルツボ容量により異なります。 |
| オプション | 熱よけガード、分布補正アタッチメント |
| ルツボ容量 | 300cc、600cc |