サーモボールバルブドセル / 特徴 / 仕様 |
ThermoballTM Valved Cell 有機材料蒸着用バルブドセル
仕様
フィラメント形状 | 6ゾーンヒータ;それぞれの独立制御が可能 |
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フィラメント構成 | Taワイヤー、PBNサポート |
熱電対 | Kタイプ(クロメル/アルメル)× 6 |
使用温度 | 標準使用条件 お問い合わせください。 最高使用温度 お問い合わせください。 脱ガス温度 お問い合わせください。 |
温度安定度 | ±0.1℃ |
マウントフランジ | 152ICF以上 |
寸法 | お問い合わせください。 |
真空内長 | お問い合わせください。 |
電源 | ルツボ容量により異なります。 |
オプション | 熱よけガード、分布補正アタッチメント |
ルツボ容量 | 300cc、600cc |