| サーモボールセル / 特徴 / 仕様 |
ThermoballTM Cell 有機材料蒸着用セル
Thermoball Cell仕様一覧
| フィラメント形状 | デュアルフィラメント；リップ、ボトムの独立制御と比率制御が可能。 |
|---|---|
| フィラメント構成 | Taワイヤー、PBNサポート |
| 熱電対 | Kタイプ（クロメル／アルメル））×2 |
| 使用温度 | 100～750℃（標準使用条件） 900℃ 最高使用温度 1000℃ 脱ガス温度 |
| 温度安定度 | ±0.1℃ |
| マウントフランジ | 30cc 70ICF（以上） 65cc 114ICF（以上） 135cc 152ICF（以上） ※オプションのシャッター、水冷を追加された場合はこの限りではありません。 |
| 寸法 | 下表参照。 |
| 真空内全長 | 203から356mmまで設定可能。 |
| 電源 | ルツボ容量により異なります。 |
| 電源コネクター | 4ピン |
| オプション | 水冷、シャッター（手動、電動、圧空動作） |
寸法一覧
| ルツボ容量 | マウントフランジ | D | L | OL |
|---|---|---|---|---|
| 30cc | 70ICF | 36 | 127 | 110 |
| 65cc | 114ICF | 56 | 152 | 110 |
| 135cc | 152ICF | 61 | 152 | 110 |
