コンポーネント製品(茨城事業所)

長州産業茨城事業所では、蒸着プロセスのあらゆる用途に対応するコンポーネントを提供しています。
量産から研究開発まで、無機材料、有機材料を問わず、あらゆる用途に対応致します。
日本ビーテックからの納入品の修理・オーバーホールも行っております。

有機材料蒸着機器

サーモボールセル
ミニサーモボールバルブドセル
サーモボールバルブドセル
ハイレートTVC
ロータリーTSC
サーモボール



蒸着ルツボ

EV-ALLルツボ

SiCルツボ
SiCルツボ



無機材料蒸着機器

MBEセル
電子銃式蒸着機



分析機器

RHEED電子銃および蛍光スクリーン