洗浄・再生業務（広島工場、九州工場）
長州産業広島工場、九州工場では、半導体製造装置、電子部品製造装置に組み込まれているシールド部品や内部治具を各種プロセスにて、洗浄再生してお客様にお届けし、歩留まりの向上やランニングコスト低減に貢献しております。真空装置技術を根底から支えています。
- 広島工場
- 九州工場
- 自動ブラスト装置
- ウェット洗浄設備
- プラズマ溶射設備
- 精密洗浄機
- 画像処理検査装置
- 最終検査工程
真空ポンプオーバーホールサービス（本社・鹿児島事業所）
長州産業鹿児島事業所では真空装置製作で培った基盤技術で真空ポンプのオーバーホール業務を行っています。高真空用クライオポンプから、各種メカニカルポンプやロータリーポンプまで対応致します。
真空装置の安定稼動を根底からバックアップ致します。
- 鹿児島事業所
- テストベンチ
- ポンプの一例